概觀 | |
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行程[°] | ∞ |
尺寸[mm] | 22.5x22.5x11 |
重量[g] | 13 |
孔徑[mm] | 4 |
力特性 | |
扭矩[Ncm] | ≥0.5 |
最大法向力[N] | 3 |
定位性能 | |
開環(huán)最大角速度[°/s] | 30 |
開環(huán)定位分辨率[μ°] | 10 |
閉環(huán)最大角速度[°/s] | 30 |
閉環(huán)定位分辨率[μ°] | 30 |
選配 | |
材質(zhì) | 鋁為標(biāo)準(zhǔn);鋼底座(-ST);鈦基(-TI) |
真空兼容 (HV) | 1E-6 mbar |
高真空兼容 (UHV) | 1E-10 mbar |
無磁 | 可根據(jù)要求定制 |