光學(xué)狹縫(NRA)配備四個(gè)獨(dú)立控制的葉片,彼此呈矩形,壓電控制葉片移動(dòng),實(shí)現(xiàn)對矩形開口尺寸和位置進(jìn)行精準(zhǔn)定位。該產(chǎn)品提供大氣、高真空和超高真空版本。